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薄膜沉积 · 完整实验流程

薄膜沉积完整流程:CVD/ALD/磁控溅射制备金属、氧化物、半导体薄膜,从衬底清洗到成膜到退火,每步直连可采购产品。

步骤 1

步骤 2

步骤 3

真空泵组(机械泵+分子泵)

步骤 4

沉积设备(CVD/溅射)

步骤 5

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