技术参数：
加热面板尺寸:340mm*340mm方形
电源输入:220V，3500W(110V可选)
控温范围:室温-300°C
温度分辨率:0.1*C
控温精度:+0.2C
温度均匀性:200C以下<1%，200C~300°Cs1.5%
可存贮100组烤胶配方，每个配方可设置5个加热阶段
电动顶针调节高度:0-30mm
顶针高度分辨率:0.1mm
顶针可使用底物直径大于120mm圆晶，特殊要求可定制
真空接口:HP200-PE设备后板出口外径6mm
真空输入要求:0.04~0.09Mpa
外型尺寸:423mm(W)*562mm(D)*295mm(H)